华中科技大学 武汉光电国家实验室，武汉 430074
为了研究激光直写技术在薄膜器件成型工艺中的应用，采用波长为1．07μm的连续光纤激光器对SiO2／Si基表面SiO2－TiO2多孔溶胶－凝胶薄膜进行致密化的方法，得到了激光功率密度对薄膜收缩率的影响规律以及热处理温度对薄膜的激光致密化功率密度阈值和厚度变化的影响结果。结果表明，薄膜收缩率随着激光功率密度的增加而增大。薄膜热处理温度越高，激光致密化功率密度阈值越高，达到薄膜致密化极限需要的激光能量越大。激光致密化机制是通过硅衬底吸收激光能量，然后以热传导的形式加热溶胶－凝胶疏松薄膜，实现薄膜致密化。
激光技术 激光致密化 溶胶－凝胶 机理 laser technique SiO2－TiO2 SiO2-TiO2 laser densification sol-gel mechanism
