1 陆军工程大学石家庄校区 电子与光学工程系, 石家庄 050003
2 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 微纳制造与系统集成研究中心, 重庆 400714
3 北京空间机电研究所, 北京 100076
针对脉冲星导航对软X射线探测的实际要求, 研究分析了一种基于石墨烯电场效应的软X射线探测器的性能。通过理论计算, 并利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件, 给出了探测器时间分辨率和能量分辨率的估值公式。在5.9keV软X射线入射硅吸收层的情况下, 时间分辨率的理论值可达7.2ns, 能量分辨率的理论值约为90eV(1.5%)。结果表明, 该探测器能够初步满足脉冲星软X射线的探测需求。
软X射线 探测器 有限元仿真 石墨烯 电场效应 脉冲星导航 soft X-ray detector finite element simulation graphene electric field effect pulsar-based navigation
赣南师范学院 物理与电子信息学院, 江西 赣州 341000
设计了一种简化的铝栅MOS半导体器件制作工艺流程, 用6张掩模版成功制作出了基于表面电场效应原理的生物检测硅芯片传感器, 采用SiO2Si3N4复合栅介质层及耗尽型器件结构, 以增强器件的识别与检测灵敏度。该传感器与常规铝栅MOS晶体管相比, 去除了介质层表面的栅极导电层, 代之以自组装技术制作生物薄膜并辅以栅参考电极作为控制栅极。用所制作的硅芯片传感器检测了相关生物蛋白质的电流响应, 给出了该电流响应与器件沟道长度和沟道电阻及生物蛋白浓度等参数的关系, 得到了较为满意的检测数据, 达到了预期的基于表面电场效应的硅传感器制作和生物检测的目的。
电场效应传感器 检测 制造 工艺 设计 生物 fieldeffect sensor detection fabrication technology design biological
1 上海电力学院,电力与自动化工程学院,上海,200090
2 上海光学精密机械研究所,上海,201800
电场分布是影响集成电光器件特性的主要因素.本文研究了有限尺寸平行电极的电场分布,得到了其电荷分布密度、电容、电场强度的数学解析式,并分析了边缘电场效应,在此基础上得到了在集成电光器件中相邻光通道互不干扰所需的平行电极对的间隔距离.最后以单晶1×4光开关为例给出了当电极板长度为5mm、宽度为2mm、电极板间距为2mm时,离开电极板边缘3mm处的电场强度就已经降到电极板中心处的5%左右,引起的信道串扰约为0.25%,可忽略不计.
信息光学 1×N电光开关 边缘电场效应 有限尺寸平行电极 电场分布
