基于红外热释电原理的测量方法有测量方便、寿命长、功耗低等优点, 因此, 红外热释电测量气体在城市管网、环境监测等场合的气体测量监控系统中得到了广泛应用。在红外热释电气体测量过程中, 测量结果易受多频段信号的干扰, 直接导致测量精度不高。因此, 提出基于Goertzel算法的红外热释电气体测量方法, 对AD获取的信号进行数字滤波处理。仿真分析并对比Goertzel算法和移动平均算法的滤波效果, 仿真结果表明: Goertzel算法滤波误差为0.166 7%, 测量波动为0.058%, 比移动平均算法精度和稳定度分别提高51倍和18.4倍。最后通过搭建实验系统进行测试, 结果表明: Goertzel滤波算法能有效地提高整体气体浓度测量精度和稳定度, 测量精度能达到±4 ppm左右。

在制造红外热释电探测器阵列过程中，需要利用超薄钽酸锂(LiTaO₃)晶片作为红外热释电探测器件的敏感层。通常LiTaO₃晶片的厚度远厚于红外热释电探测器件要求的厚度，所以需要采用键合减薄技术对LiTaO₃晶片进行加工处理。键合减薄技术主要包括：苯并环丁烯(BCB)键合、铣磨、抛光、加热剥离、刻蚀BCB。加工后得到面积为10 mm×10 mm、厚度为25μm的超薄单晶LiTaO₃薄膜，晶片厚度、表面粗糙度和面形精度比较理想。测得了LT晶片减薄后的热释电系数为1．6×10^－4Cm^－2K^－1。得到的单晶LiTaO₃薄膜满足红外热释电探测器敏感层的要求。