1 南通大学 机械工程学院, 江苏 南通 226019
2 北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100191
提出一种基于正交偏振双纵模的氦氖激光器纳米测尺系统, 将双折射元件插入He-Ne激光器谐振腔内产生频率分裂效应, 使激光器变成了频差可调的双频激光器。运用频率分裂、模竞争、双纵模功率调谐等激光物理效应和设定浮动阈值, 研制了新型的激光器纳米测尺。以激光波长为尺子, 具有可溯源性, 在没有任何电细分的条件下达到了纳米量级的分辨率, 与激光干涉仪的比对实验表明, 该系统的分辨率为79 nm, 量程为15 mm, 线性度为5.4×10-5, 标准差为380 nm。
正交偏振 频率分裂 模竞争 双纵模 纳米量级 orthogonal polarization frequency splitting modes competition double longitudinal mode nano scale
