1 西安工业大学 光电工程学院，陕西 西安 710021
2 西安应用光学研究所，陕西 西安 710065
3 微光夜视技术重点实验室，陕西 西安 710065
微通道板(Microchannel Plate，MCP)是像增强器中实现电子倍增的关键器件。以硅为基体制备的微通道板相对于传统的微通道板在性能方面有很大的提高。在对硅进行反应离子深刻蚀(DRIE)前，需要对充当掩蔽层的金属铝膜进行湿法腐蚀。对于掩模图形为孔径10 μm、孔间距5 μm的大面阵的微孔阵列，在腐蚀过程中，微孔孔径较小导致溶液对流困难且反应生成物H2极易吸附在反应界面上，影响反应物质的输送和化学反应的进行。如果腐蚀参数不合适，阵列式微孔图形会出现随机腐蚀、不完全腐蚀、过腐蚀等现象。通过加入表面活性剂，减小溶液中表面应力，可以促使反应物H2排出。同时通过逐一控制变量，研究了腐蚀液浓度、腐蚀液温度和腐蚀时间对腐蚀结果的影响。结果表明，腐蚀速率与腐蚀液浓度、腐蚀液温度成正比。通过参数优化，得到了最佳的腐蚀参数。此时图形完整，尺寸准确，解决了微孔阵列的图形化问题。
Al膜湿法腐蚀 微孔阵列图形 腐蚀浓度 温度 腐蚀时间 wet etching aluminum periodic micropore array corrosive concentration temperature etching time 红外与激光工程
2015, 44(10): 3055
北京工业大学 材料科学与工程学院, 北京 100124
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在湿法腐蚀后的Si(100)衬底上制备了Y2O3∶Bi,Yb减反转光薄膜。所制备的薄膜在300～800 nm波长范围内的平均反射率最低至5.28%, 同时在晶体硅太阳能电池最佳响应范围内的980 nm附近表现出了良好的下转光特性。与非减反下转光薄膜相比较, 具有减反结构的Y2O3∶Bi,Yb下转换薄膜的转光强度有了明显的提升。随着衬底腐蚀时间在一定范围内的延长, Bi3+和Yb3+的发射峰强度线性增大。该减反转光薄膜为太阳能电池效率提高提供了一种简单可行的方法。
太阳能电池 减反陷光 下转换 Yb薄膜 腐蚀时间 solar cells anti-reflection light trapping down-conversion Y2O3∶Bi Y2O3∶Bi Yb film etching time
