为了研究激光直写技术在制备薄膜铂电阻中的应用，采用激光直写制备了薄膜厚度为2μm的铂电阻。探讨了激光直写技术制备薄膜铂电阻的原理，以条形铂电阻为例，研究了激光参量对铂电阻形状的影响，在最优的激光脉冲频率18kHz、激光扫描速率100mm/s的参量下，制备了实际电阻约为0.37Ω的条形薄膜铂电阻，最后检验了薄膜铂电阻的电阻值。结果表明，铂电阻的宽度分别随激光脉冲频率和激光扫描速率的增大而增大；制备的电阻边缘整齐，表面平整，电阻实际值与理论值只有0.8%的相对误差，吻合很好。
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