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相同关键词【超精密飞刀切削】论文列表

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平面光学元件的设计、制造及应用

红外光学微结构表面的高效自适应飞刀切削

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李佩铮 ¹杜雪 ²孙占文 ^1,*王素娟 ¹徐诗俊 ¹

作者单位

摘要

¹ 广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室，广东广州50006

² 香港理工大学工业与系统工程学系超精密加工技术国家重点实验室，香港999077

为了实现红外光学微结构表面的高效、高精度、低损伤加工，提出了一种超精密自适应飞刀切削方法，并进行了实验验证。根据飞刀切削的运动学特性，建立了飞刀切削塑性加工模型。以最大切屑厚度始终小于脆塑转变临界为原则，根据微结构表面的局部形貌特征，采用迭代算法规划出具有动态变化进给速度的刀具轨迹。最后，将所提出方法与传统飞刀切削方法进行对比实验，验证了所提出自适应飞刀切削方法的有效性。通过实验成功在单晶硅材料上加工了无脆性断裂的微沟槽，表面粗糙度达到18 nm。与传统飞刀切削方法相比，超精密自适应飞刀切削方法在不降低进给速度的前提下，避免了脆性断裂，加工效率是传统方法的2.5倍。

红外光学材料超精密飞刀切削微结构自适应调速加工效率 infrared optical material ultra-precision flying cutting microstructures adaptive tuning machining efficiency

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光学精密工程

2022, 30(15): 1845

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