半导体光电, 2016, 37 (4): 524, 网络出版: 2016-09-12
蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析
Strain Analysis of AlGaN Epitaxial Film Grown on Sapphire Substrate
基本信息
| DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2016.04.015 |
| 中图分类号: | O649.1 |
| 栏目: | 材料、结构及工艺 |
| 项目基金: | 国防基础科研计划项目(J092009A001) |
| 收稿日期: | 2015-11-02 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2016-09-12 |
| 通讯作者: | 王雪蓉 (wangxuerong19851228@126.com) |
| 备注: | -- |
王雪蓉, 刘运传, 孟祥艳, 周燕萍, 王康, 王倩倩. 蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析[J]. 半导体光电, 2016, 37(4): 524. WANG Xuerong, LIU Yunchuan, MENG Xiangyan, ZHOU Yanping, WANG Kang, WANG Qianqian. Strain Analysis of AlGaN Epitaxial Film Grown on Sapphire Substrate[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2016, 37(4): 524.
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