蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析

王雪蓉; 刘运传; 孟祥艳; 周燕萍; 王康; 王倩倩

doi:doi:10.16818/j.issn1001-5868.2016.04.015

半导体光电, 2016, 37 (4): 524, 网络出版: 2016-09-12

蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析

Strain Analysis of AlGaN Epitaxial Film Grown on Sapphire Substrate

王雪蓉 ^*刘运传孟祥艳周燕萍王康王倩倩

作者单位

中国兵器工业集团公司第53研究所, 济南 250031

图 & 表

王雪蓉, 刘运传, 孟祥艳, 周燕萍, 王康, 王倩倩. 蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析[J]. 半导体光电, 2016, 37(4): 524. WANG Xuerong, LIU Yunchuan, MENG Xiangyan, ZHOU Yanping, WANG Kang, WANG Qianqian. Strain Analysis of AlGaN Epitaxial Film Grown on Sapphire Substrate[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2016, 37(4): 524.