光学 精密工程, 2007, 15 (9): 1371, 网络出版: 2008-02-18  

基于分子动力学的纳机电开关动态特性

Dynamic characteristic of NEM switch based on molecular dynamic simulation
作者单位
1 哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
2 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,黑龙江,哈尔滨,150001
基本信息
DOI: --
中图分类号: TN603.5;TM564
栏目: 微纳技术与精密机械
项目基金: 国家自然科学基金资助项目(No.50675050)、黑龙江省杰出青年科学基金资助项目(No.JC200614)
收稿日期: 2007-03-15
修改稿日期: 2007-06-01
网络出版日期: 2008-02-18
通讯作者:
备注: --

宫娜, 梁迎春, 刘炳国, 陈明君. 基于分子动力学的纳机电开关动态特性[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(9): 1371. 宫娜, 梁迎春, 刘炳国, 陈明君. Dynamic characteristic of NEM switch based on molecular dynamic simulation[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(9): 1371.

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