光学 精密工程, 2007, 15 (9): 1371, 网络出版: 2008-02-18  

基于分子动力学的纳机电开关动态特性

Dynamic characteristic of NEM switch based on molecular dynamic simulation
作者单位
1 哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
2 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,黑龙江,哈尔滨,150001
摘要
建立了碳纳米管悬臂梁分子动力学模型,并对该模型的动态特性进行研究.分析了封腔中空气分子对纳米器件的阻尼作用,模拟了真空环境下碳纳米管原子处于平衡状态的自振情况,同时通过在外加激励作用下求解出该系统中碳纳米管的固有频率,绘制出了相应的幅频响应曲线.最后,对低真空环境下碳纳米管共振时的振幅进行分析.模拟结果表明:原子自振频率为2 THz;碳纳米管固有频率为4.79 GHz,且在初始阶段随着外加载荷的增加略有减小,随着载荷的继续增加而加大直到开关达到闭合状态;在相同的气压变化幅度下,低压环境的振幅变化远明显于高压环境下的振幅变化.
Abstract
参考文献

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