光学 精密工程, 2007, 15 (9): 1371, 网络出版: 2008-02-18  

基于分子动力学的纳机电开关动态特性

Dynamic characteristic of NEM switch based on molecular dynamic simulation
作者单位
1 哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
2 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,黑龙江,哈尔滨,150001
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