光学学报, 2010, 30 (6): 1857, 网络出版: 2010-06-07
2000 lp/mm X射线透射变栅距光栅的研究
Study on Properties of 2000 lp/mm X-Ray Transmission Varied Line-Space Gratings
衍射光学 变栅距光栅 X射线透射光栅 电子束光刻 diffraction optics varied line-space gratings X-ray transmission gratings electron beam lithography
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