光电工程, 2018, 45 (4): 170642, 网络出版: 2018-05-29
基于变压力的CCOS光学研抛技术
Study on the variable pressure CCOS polishing technology
基本信息
| DOI: | 10.12086/oee.2018.170642 |
| 中图分类号: | O436.3 |
| 栏目: | 科研论文 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金青年基金资助项目(51405313) |
| 收稿日期: | 2017-11-22 |
| 修改稿日期: | 2018-01-25 |
| 网络出版日期: | 2018-05-29 |
| 通讯作者: | 叶枫菲 (yefengfei2017@163.com) |
| 备注: | -- |
叶枫菲, 余德平, 万勇建, 刘海涛, 赵洪深. 基于变压力的CCOS光学研抛技术[J]. 光电工程, 2018, 45(4): 170642. Ye Fengfei, Yu Deping, Wan Yongjian, Liu Haitao, Zhao Hongshen. Study on the variable pressure CCOS polishing technology[J]. Opto-Electronic Engineering, 2018, 45(4): 170642.
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