光学 精密工程, 2018, 26 (3): 672, 网络出版: 2018-04-25
超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具
A joint structure and self-balancing jig based on ultrasonic bonding
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20182603.0672 |
中图分类号: | TB559;TN405 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.51375076, No.51475079)、 国家自然科学基金创新研究群体资助项目(No.51621064) |
收稿日期: | 2017-05-16 |
修改稿日期: | 2017-07-18 |
网络出版日期: | 2018-04-25 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
刘冲, 孟凡健, 梁超, 李经民. 超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(3): 672. LIU Chong, MENG Fan-jian, LIANG Chao, LI Jing-min. A joint structure and self-balancing jig based on ultrasonic bonding[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(3): 672.