光学 精密工程, 2018, 26 (3): 672, 网络出版: 2018-04-25   

超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具

A joint structure and self-balancing jig based on ultrasonic bonding
作者单位
大连理工大学 辽宁省微纳米及系统重点实验室, 辽宁 大连 116024
基本信息
DOI: 10.3788/ope.20182603.0672
中图分类号: TB559;TN405
栏目: 微纳技术与精密机械
项目基金: 国家自然科学基金资助项目(No.51375076, No.51475079)、 国家自然科学基金创新研究群体资助项目(No.51621064)
收稿日期: 2017-05-16
修改稿日期: 2017-07-18
网络出版日期: 2018-04-25
通讯作者:
备注: --

刘冲, 孟凡健, 梁超, 李经民. 超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(3): 672. LIU Chong, MENG Fan-jian, LIANG Chao, LI Jing-min. A joint structure and self-balancing jig based on ultrasonic bonding[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(3): 672.

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