超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具

刘冲; 孟凡健; 梁超; 李经民

doi:doi:10.3788/ope.20182603.0672

光学精密工程, 2018, 26 (3): 672, 网络出版: 2018-04-25

超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具

A joint structure and self-balancing jig based on ultrasonic bonding

刘冲孟凡健梁超李经民

作者单位

大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室, 辽宁大连 116024

补充材料

刘冲, 孟凡健, 梁超, 李经民. 超声波键合熔接结构及压力自平衡夹具[J]. 光学精密工程, 2018, 26(3): 672. LIU Chong, MENG Fan-jian, LIANG Chao, LI Jing-min. A joint structure and self-balancing jig based on ultrasonic bonding[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(3): 672.