无掩模Si圆柱纳米图形衬底上GaAs的异变外延生长

李玉斌; 王俊; 王琦; 邓灿; 王一帆; 任晓敏

半导体光电, 2014, 35 (4): 625, 网络出版: 2014-09-01

无掩模Si圆柱纳米图形衬底上GaAs的异变外延生长

Heteroepitaxial Growth of GaAs on Maskless Roundpillar Nanopatterned Si Substrate

李玉斌 ^*王俊王琦邓灿王一帆任晓敏

作者单位

北京邮电大学信息光子学与光通信国家重点实验室, 北京 100876

图 & 表

李玉斌, 王俊, 王琦, 邓灿, 王一帆, 任晓敏. 无掩模Si圆柱纳米图形衬底上GaAs的异变外延生长[J]. 半导体光电, 2014, 35(4): 625. LI Yubin, WANG Jun, WANG Qi, DENG Can, WANG Yifan, REN Xiaomin. Heteroepitaxial Growth of GaAs on Maskless Roundpillar Nanopatterned Si Substrate[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2014, 35(4): 625.