激光与光电子学进展, 2018, 55 (4): 042201, 网络出版: 2018-09-11
大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计 
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Design of Fly-Eye Lens with Free-Form Surface Used in Parallel Light Exposure Machine with Large Area and High Uniformity
基本信息
| DOI: | 10.3788/LOP55.042201 |
| 中图分类号: | O439 |
| 栏目: | 光学设计与制造 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金（61605208）、 |
| 收稿日期: | 2017-10-10 |
| 修改稿日期: | 2017-10-27 |
| 网络出版日期: | 2018-09-11 |
| 通讯作者: | 杜春雷 (cldu@cigit.ac.cn) |
| 备注: | -- |
陈忠雨, 尹韶云, 孙秀辉, 江海波, 杜春雷. 大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计[J]. 激光与光电子学进展, 2018, 55(4): 042201. Zhongyu Chen, Shaoyun Yin, Xiuhui Sun, Haibo Jiang, Chunlei Du. Design of Fly-Eye Lens with Free-Form Surface Used in Parallel Light Exposure Machine with Large Area and High Uniformity[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2018, 55(4): 042201.
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