激光与光电子学进展, 2018, 55 (4): 042201, 网络出版: 2018-09-11
大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计 下载: 2128次
Design of Fly-Eye Lens with Free-Form Surface Used in Parallel Light Exposure Machine with Large Area and High Uniformity
光学设计 高均匀度 自由曲面 曝光机 复眼透镜 optical design high uniformity free-form surface exposure machine fly-eye lens
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