光子学报, 2005, 34 (5): 761, 网络出版: 2006-06-12
一种新的形貌检测系统标定技术
A Novel Calibration Technology in Profilometry
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TH741;O43 |
栏目: | 光学测量 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2004-02-23 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2006-06-12 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
周灿林, 李方. 一种新的形貌检测系统标定技术[J]. 光子学报, 2005, 34(5): 761. 周灿林, 李方. A Novel Calibration Technology in Profilometry[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2005, 34(5): 761.