光子学报, 2005, 34 (5): 761, 网络出版: 2006-06-12   

一种新的形貌检测系统标定技术

A Novel Calibration Technology in Profilometry
作者单位
1 山东大学物理与微电子学院,济南,250061
2 中山大学生命科学院,广州,510275
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