工艺路线对TFT工厂能源消耗的影响

蒋婧思; 李强

doi:doi:10.3788/yjyxs20163111.1055

液晶与显示, 2016, 31 (11): 1055, 网络出版: 2016-12-06

工艺路线对TFT工厂能源消耗的影响

Influence of device structure and production technics on energy consumption in TFT factory

蒋婧思李强

作者单位

中国电子工程设计院工艺所, 北京 100142

图 & 表

蒋婧思, 李强. 工艺路线对TFT工厂能源消耗的影响[J]. 液晶与显示, 2016, 31(11): 1055. JIANG Jing-si, LI Qiang. Influence of device structure and production technics on energy consumption in TFT factory[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2016, 31(11): 1055.