为了在TFT工厂的设计、建设及运营阶段采取有针对性的节能降耗措施, 有效降低器件制备过程中的能耗, 本文根据我院多年从事TFT生产线节能评估工作的经验数据, 针对不同技术路线, 选取具有代表性的TFT-LCD及AMOLED生产线, 并对其能耗进行对比分析, 以讨论不同技术路线对TFT-LCD及AMOLED显示器件生产能耗的影响。分析结果表明: 阵列制备是最主要用能工序, 其制备复杂程度可采用光罩次数(Mask)表征。随着光罩次数的增加, 器件制造对电力、氮气、新鲜水等能源及耗能工质的需求呈急剧增长: 采用10-13Mask技术的LTPS及AMOLED显示器件, 其综合能耗达到a-Si及Oxide 技术路线的约350%之多; 在不同技术路线下, 电力均为最主要的用能需求, 其消耗量占总能耗的80%~87%。能耗的增加导致用能成本的大幅上升。在国家大力提倡绿色经济的环境下, 建议各大厂商采取科学有效的能耗管控措施, 以降低能源消耗及用能成本, 实现产业的健康可持续发展。