为了在TFT工厂的设计、建设及运营阶段采取有针对性的节能降耗措施, 有效降低器件制备过程中的能耗, 本文根据我院多年从事TFT生产线节能评估工作的经验数据, 针对不同技术路线, 选取具有代表性的TFT-LCD及AMOLED生产线, 并对其能耗进行对比分析, 以讨论不同技术路线对TFT-LCD及AMOLED显示器件生产能耗的影响。分析结果表明: 阵列制备是最主要用能工序, 其制备复杂程度可采用光罩次数(Mask)表征。随着光罩次数的增加, 器件制造对电力、氮气、新鲜水等能源及耗能工质的需求呈急剧增长: 采用10-13Mask技术的LTPS及AMOLED显示器件, 其综合能耗达到a-Si及Oxide 技术路线的约350%之多; 在不同技术路线下, 电力均为最主要的用能需求, 其消耗量占总能耗的80%~87%。能耗的增加导致用能成本的大幅上升。在国家大力提倡绿色经济的环境下, 建议各大厂商采取科学有效的能耗管控措施, 以降低能源消耗及用能成本, 实现产业的健康可持续发展。

TFT LCD工厂具有投资高、建筑体量大、能源消耗量大的特点。为了在工厂设计、建设、运营阶段有的放矢地做好节能降耗工作，针对重点耗能工序、耗能设备以及影响能耗的关键因素，采取科学、合理、可行的节能措施和节能工程，从而达到更好的节能效果。本文对TFTLCD工厂能源消耗种类、能源消费结构及能源分布特点、主要能源加工转换过程中的能量平衡、能效指标等进行了研究分析。总结我院多年来完成的同类项目经验数据，通过层次分析法、能量平衡分析方法、标准对照方法等对主要用能体系及用能特点进行深入剖析。分析结果表明，电力是TFTLCD项目消耗量最大的能源，约占全厂综合能耗的75%以上，其中工艺生产设备电力消耗约占全厂用电的45%~50%，阵列为最主要的工艺耗能工序，厂务系统中冷水机组等动力设备是主要耗能设备;氮气是消耗量最大的耗能工质，约占全厂综合能耗的20%。能源消费结构及用能特点基本符合此类工厂实际运行特点，对TFTLCD面板项目节能具有较高的指导价值。