光学学报, 2004, 24 (5): 614, 网络出版: 2006-06-12
相位测量轮廓术中随机相移误差的校正算法 下载: 565次
Correction Algorithm of Random Phase Shifting Errors in Phase Measuring Profilometry
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O436.1 |
栏目: | 傅里叶光学与光信号处理 |
项目基金: | 国家自然科学基金(60177001,10376018)资助课题。 |
收稿日期: | 2003-01-10 |
修改稿日期: | 2003-06-23 |
网络出版日期: | 2006-06-12 |
通讯作者: | 王立无 (xianyusu@mail.sc.cninfo.net) |
备注: | -- |
王立无, 苏显渝, 周利兵. 相位测量轮廓术中随机相移误差的校正算法[J]. 光学学报, 2004, 24(5): 614. 王立无, 苏显渝, 周利兵. Correction Algorithm of Random Phase Shifting Errors in Phase Measuring Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(5): 614.