相位测量轮廓术中随机相移误差的校正算法

王立无; 苏显渝; 周利兵

光学学报, 2004, 24 (5): 614, 网络出版: 2006-06-12

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Correction Algorithm of Random Phase Shifting Errors in Phase Measuring Profilometry

王立无 ^*苏显渝周利兵

作者单位

四川大学光电科学技术系, 成都 610064

补充材料

王立无, 苏显渝, 周利兵. 相位测量轮廓术中随机相移误差的校正算法[J]. 光学学报, 2004, 24(5): 614. 王立无, 苏显渝, 周利兵. Correction Algorithm of Random Phase Shifting Errors in Phase Measuring Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(5): 614.