反应溅射气体对Ni、Ti薄膜成膜特性的作用机制 | 光学仪器 -- 中国光学期刊网

光学仪器, 2017, 39 (1): 56, 网络出版: 2017-04-10

反应溅射气体对Ni、Ti薄膜成膜特性的作用机制

The effects of sputtering gas in the characterization of Ni and Ti monolayer films

连玉红 ^*张众黄秋实

作者单位

同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092

单层膜反应溅射组分粗糙度 monolayer reactive sputtering contamination roughness

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