中国激光, 2020, 47 (3): 0302003, 网络出版: 2020-03-12
透明脆性材料的bottom-up激光高速钻孔 
下载： 907次
Bottom-Up Drilling of Transparent Materials
图 & 表
图 1. 实验装置示意图和实物图。(a)示意图;(b)实物图
Fig. 1. Schematic and photo of experimental setup. (a) Schematic; (b) photo
图 2. 采用纳秒绿光bottom-up加工时,不同扫描次数下载玻片的切割结果。(a) 5次;(b) 10次;(c) 15次;(d) 20次;(e) 25次;(f) 28次(切穿)
Fig. 2. Cut results of glass slide at different scan times with nanosecond green laser bottom-up processing. (a) 5 times; (b) 10 times; (c) 15 times; (d) 20 times; (e) 25 times; (f) 28 times, cut through
图 4. 采用脉宽为12 ns的绿光以bottom-up方式钻孔的结果。(a)入口;(b)出口
Fig. 4. Bottom-up drilling using green laser with pulse width of 12 ns. (a) Entrance; (b) exit
图 5. 采用脉宽为2 ns的绿光以bottom-up方式钻孔的结果。(a)入口;(b)出口
Fig. 5. Bottom-up drilling using green laser with pulse width of 2 ns. (a) Entrance; (b) exit
图 6. 采用皮秒红外激光以bottom-up方式钻孔的结果。(a)入口;(b)出口
Fig. 6. Bottom-up drilling using picosecond infrared laser. (a) Entrance; (b) exit
图 7. 采用飞秒绿光以bottom-up方式钻孔的结果。(a)入口;(b)出口
Fig. 7. Bottom-up drilling using femtosecond green laser. (a) Entrance; (b) exit
图 8. 两种加工方式的切割效率、切屑长度与脉宽的关系
Fig. 8. Relation between cutting efficiency or chipping length and pulse width for two cutting methods
图 9. 采用top-down加工方式在脆性材料上钻孔时,材料移除效率与脉宽的关系
Fig. 9. Relationship between ablation efficiency and pulse width when drilling in brittle materials using top-down method
表 1实验用激光器的相关参数
Table1. Parameters of lasers used in experiment
|
表 2振镜和场镜的相关参数
Table2. Parameters of galvanometer and field lens
|
王晧智, 郭鹏峰, 吴双, 陶沙, 陈蔚, 赵晓杰. 透明脆性材料的bottom-up激光高速钻孔[J]. 中国激光, 2020, 47(3): 0302003. Wang Haozhi, Guo Pengfeng, Wu Shuang, Tao Sha, Chen Wei, Zhao Xiaojie. Bottom-Up Drilling of Transparent Materials[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(3): 0302003.
PDF全文
