激光与光电子学进展, 2020, 57 (1): 011402, 网络出版: 2020-01-03 复制并引用该论文  本文已被引 4 次  被引通知

图 & 表

图 1. Si-SiO₂ HCG结构示意图。(a)三维结构示意图;(b)填充液晶后光栅的截面图

Fig. 1. Structural diagram of Si-SiO₂ HCG. (a) Three-dimensional structural diagram; (b) cross-section of the grating filled with liquid crystal

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图 2. 各参数与波长对反射率的影响。(a)光栅中硅脊的厚度;(b)光栅中SiO₂的厚度;(c)周期;(d)占空比

Fig. 2. HCG parameters and wavelength as functions of reflectivity. (a) Thickness of Si ridge in grating; (b) thickness of SiO₂ in grating; (c) grating period; (d) duty cycle

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图 3. 局部最大反射率最大时,占空比、周期、硅脊厚度与反射率的关系

Fig. 3. Duty cycle, period, and thickness of Si as functions of reflectivity when local reflectivity is the maximum value

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图 4. 入射光为TE、TM光时HCG的反射率图。(a) TE光;(a) TM光

Fig. 4. Reflectivity spectra of HCG with TM and TE polarized incident light. (a) TE polarized light; (b) TM polarized light

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图 5. 反射率随HCG液晶折射率变化值Δn、波长的变化

Fig. 5. Reflectivity as a function of changes in reflective index of liquid crystal in HCG and wavelength

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表 1HCG各参数的优化区间

Table1. Optimization range of each parameter of HCG

Incident light Parameter Optimizationrange /μm TE Si grating thickness 0.65--0.8 TE Grating period 0.5--0.6 TE Duty cycle 0.45--0.55 TM Si grating thickness 0.35--0.38 TM Grating period 0.48--0.52 TM Duty cycle 0.42--0.52

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郑舟, 邹永刚, 石琳琳, 房俊宇, 王海珠, 范杰, 崔超, 徐莉, 马晓辉. 液晶可调谐VCSEL中高对比光栅结构的设计[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(1): 011402. Zhou Zheng, Yonggang Zou, Linlin Shi, Junyu Fang, Haizhu Wang, Jie Fan, Chao Cui, Li Xu, Xiaohui Ma. High-Contrast Grating Structure Design for Liquid Crystal Tunable Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(1): 011402.