长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春 130022
为了使双波长半导体激光器具有良好的双波长间隔及强度等特性,本团队提出了一种具有侧向变阶分布布拉格反射(DBR)光栅的双波长半导体激光器。该激光器采用20 μm宽的脊波导结构,这使得其腔内存在基侧模与一阶侧模。根据脊波导内各阶侧向模式的光场分布以及DBR光栅的分区特点,侧向变阶DBR光栅能分别对不同阶侧向模式进行有效反馈,从而使激光器获得强度相近的双波长输出。实验结果表明:当注入电流为210~330 mA时,激光器的双波长间隔维持在0.9 nm附近;当电流为330 mA时,器件获得了强度相近的双波长发射,波长分别为1064.56 nm和1065.49 nm,双波长工作条件下的最大输出功率为88.26 mW。
双波长半导体激光器 DBR光栅 侧向模式 双波长间隔 双波长强度 中国激光
2025, 52(13): 1301014
1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造全国重点实验室, 吉林 长春 130033
为了打破均匀光栅对称结构的限制,进一步提高硅基光电集成片上光源的耦合效率。本研究提出基于绝缘衬底上硅结构的高效递进式光栅耦合器的设计,适用于垂直腔面发射激光器(VCSEL)键合到硅光子集成电路,降低了VCSEL光电集成对键合角度的工艺难度要求。该方法通过同时改变光栅的周期和占空比,并优化光栅的刻蚀深度,实现了对布拉格条件的调整,使衍射场分布与高斯场分布更为匹配。此外,还优化设计周期与占空比为定值的均匀光栅耦合器和周期固定、占空比改变的前端渐进式光栅耦合器两种结构。作为对比验证了递进式光栅耦合器设计的有效性,在提升耦合效率的同时,增加了VCSEL入射角倾角的耦合方向性,使VCSEL器件耦合方向更为灵活。数值仿真结果显示,设计的均匀光栅、前端渐进式光栅、递进式光栅的最高耦合效率分别达到54.62%(-2.63 dB)、60.18%(-2.21 dB)、64.55%(-1.90 dB)。得益于设计的优化,该结构对光源入射倾角具有6°~21°的容差范围,大幅降低了实验工艺的难度。通过数值计算结果证明了该方法的可靠性,同时也展现了在不使用背反射镜的情况下,基于硅基异质集成结构能实现高达64.55%(-1.90 dB)耦合效率和大入射角度容差的潜力。实验结果表明,在1 500~1 600 nm波段范围内设计的光栅耦合器在光纤不同入射角度测试中,对不同的入射角均具有较高的耦合效率,具有更好的耦合方向性。
硅基光电集成 模式匹配 入射容差 耦合效率 光栅耦合器 silicon photonic integrated mode matching incident angle tolerance coupling efficiency grating coupler
红外与激光工程
2025, 54(3): 20240476
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春 130022
为了改善垂直腔面发射半导体激光器阵列的散热性能、减小器件中各个发光单元之间的温差,以及提高器件的输出功率和出光均匀性,提出了一种采用热导率差异明显的两种材料填充过渡热沉的新型散热结构。首先,利用有限元分析软件,在传统的碳化硅过渡热沉中加入多沟槽结构并填充铜金刚石材料和氮化铝材料;然后,通过对多个沟槽内填充材料以及刻蚀深度进行热仿真分析,探索了阵列器件中各单元温度随参数变化的规律;最后,通过对结构参数加以优化,设计了一种新型散热结构,相较于传统散热结构,新结构器件的整体输出功率提升了14.2%。由新型结构封装阵列器件的温度分布仿真结果可知,各个发光单元之间的最高温差由最初的10.94 K降低至0.15 K。
垂直腔面发射半导体激光器 有限元分析 散热 过渡热沉 激光与光电子学进展
2025, 62(3): 0316002
长春理工大学 高功率半导体激光国家级重点实验室,长春 130022
通过设计基于金刚石微槽结构的复合热沉,利用不同材料的热导率差异改变热流传导方向,以优化垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)面阵由于温度分布不均匀导致的中心热量堆积的问题,从而改善激光器面阵整体的输出功率,提高可靠性。基于有限元分析法建立三维热电耦合模型,研究了VCSEL面阵单元排布方式对激光器热串扰效应的影响,同时还研究分析了金刚石复合热沉中微槽形状和位置的变化对半导体激光器内部温度的影响,设计最优结构对激光器的出光性能做进一步优化。采用金刚石复合热沉后的垂直腔面发射激光器面阵,与传统金刚石热沉的封装结构相比,激光器发光单元的温度差值降低了29%,为大面积半导体激光器面阵的输出功率优化提供了新思路。
半导体激光器 金刚石复合热沉 微槽结构 有限元分析法 热管理 semiconductor lasers diamond composite heat sink micro groove structure finite element analysis method thermal management
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春 130022
为了实现高功率半导体激光器连续泵浦源输出,设计一种使用微通道热沉封装多个单管半导体激光器的堆叠结构。基于有限元分析,此结构可以通过辅助热沉和微通道内部圆柱翅片扩展单管半导体激光器的传热渠道,与传统凹槽微通道相比,热传导效果有所增强,优化提出斜翅片结构,控制水流速,调节流体流动从而产生混流效应,进一步改善微通道散热性能,对其封装下的多单管进行功率拟合,理论最大输出功率可达128.75 W,在微通道热沉所需制冷功耗较低的前提下,可以实现多单管半导体激光器连续工作模式下泵浦且满足其散热需求。
半导体激光器 微通道 斜翅片 有限元分析 散热性能 激光与光电子学进展
2023, 60(21): 2114005
1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,长春30022
2 陆装沈阳军代局驻吉林地区军代室,长春1300
设计了一台紧凑型高温激光二极管阵列侧面泵浦Nd:YAG脉冲激光器。通过半导体制冷器控制泵浦源工作温度在60℃,其发射中心波长为808 nm,谱线宽度为4 nm。模拟了泵浦源在40℃、50℃和60℃条件下60 s内的温度场分布。实验所用激光增益介质为Nd:YAG晶体,尺寸为
φ 5 mm×50 mm,掺Nd
3+摩尔浓度为
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。采用磷酸二氘钾晶体作为电光调Q开关,在泵浦源电脉宽250
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,重复频率20 Hz、1 Hz条件下,获得最大能量为230 mJ、246 mJ的单脉冲输出,对应的脉冲宽度分别为8.4 ns、7.8 ns。光束发散角约为1.6 mrad。设计的Nd:YAG脉冲激光器总的电-光转换效率大于4.6%。
高温激光二极管 Nd:YAG晶体 脉冲泵浦 大能量 High-temperature laser diode Nd:YAG crystal Pulse pumping Large energy
长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
多单管合束技术是获得高输出功率密度半导体激光器的重要方法, 但其存在封装方式单一、体积大等问题, 难以满足更高功率密度和较好光束质量的需求。本文设计了一种多单管半导体激光器堆叠排布的封装结构, 通过将多个单管半导体激光器垂直封装在辅助热沉之间, 使得器件更加小型化, 在充分利用单管半导体激光器优势的同时, 既增加了单管半导体激光器的散热通道, 又实现了在体积不增加的基础上提高输出功率。通过ZEMAX软件对3个单管进行了空间合束模拟, 将光束耦合进芯径200 μm、数值孔径0.22的光纤中, 可以达到28.6 W的激光输出, 耦合效率为95%。
半导体激光器 有限元分析 散热性能 光纤耦合 semiconductor laser finite element analysis ZEMAX ZEMAX heat dissipation fiber coupling
红外与激光工程
2020, 49(8): 20190542
1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
2 长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
3 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
V型腔可调谐半导体激光器由于具备结构简单紧凑、性能优良等特点, 在光通讯领域有着较大的应用潜力。然而, 由于激光器外延结构热导率相近, 用于波长调谐的热量大部分直接流失, 激光器无法得到较高的调谐效率。本文通过在调谐区域加入隔热结构, 设计了具有高调谐效率的V型腔可调谐激光器。利用由COMSOL Multiphysics建立的V型腔激光器温度模型, 分析了隔热结构的加入对激光器各部分的温度影响。通过Rsoft建立的谐振腔光场分布, 优化半波耦合器参数, 使激光器具有最佳的模式选择性。结果表明, 激光器主边模阈值增益差达到6.07 cm-1, 调谐效率从0.165 nm/mW提升至0.3 nm/mW。同时, 隔热结构的加入不会使激光器其他区域有明显的温升, 器件性能受到的负面影响可以忽略。
半导体激光器 波长可调谐 热效应 隔热结构 semiconductor lasers wavelength tunable thermal effects thermal insulation