应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石

卢文壮; 杨斌; 冯伟; 杨旭; 蔡文俊

doi:doi:10.3788/ope.20162403.0540

光学精密工程, 2016, 24 (3): 540, 网络出版: 2016-04-13

应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石

Lapping of sapphire wafers by CVD diamond coated tools

卢文壮 ^1,2,*杨斌 ¹冯伟 ¹杨旭 ¹蔡文俊 ¹

作者单位

¹ 南京航空航天大学机电学院, 江苏南京 210016

² 江苏省精密与微细制造技术重点实验室, 江苏南京 210016

引用该论文

卢文壮, 杨斌, 冯伟, 杨旭, 蔡文俊. 应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石[J]. 光学精密工程, 2016, 24(3): 540.

LU Wen-zhuang, YANG Bin, FENG Wei, YANG Xu, CAI Wen-jun. Lapping of sapphire wafers by CVD diamond coated tools[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(3): 540.

引用列表

1、激光诱导等离子体加工蓝宝石微结构及其润湿性光学精密工程, 2024, 32 (3): 366

2、高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验光学精密工程, 2022, 30 (1): 89

3、飞秒激光抛光CVD金刚石涂层表面光学精密工程, 2019, 27 (1): 164

4、乙醇浓度对亲水性固结磨料垫自修整特性的影响光学精密工程, 2018, 26 (4): 843

卢文壮, 杨斌, 冯伟, 杨旭, 蔡文俊. 应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石[J]. 光学精密工程, 2016, 24(3): 540. LU Wen-zhuang, YANG Bin, FENG Wei, YANG Xu, CAI Wen-jun. Lapping of sapphire wafers by CVD diamond coated tools[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(3): 540.

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