光学 精密工程, 2016, 24 (3): 540, 网络出版: 2016-04-13
应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石
Lapping of sapphire wafers by CVD diamond coated tools
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20162403.0540 |
| 中图分类号: | TB43;TN305.2 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.51275230)、 南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金资助项目(No. kfjj20150507), 航空基金资助项目(No. 20140152001) |
| 收稿日期: | 2015-10-11 |
| 修改稿日期: | 2015-11-12 |
| 网络出版日期: | 2016-04-13 |
| 通讯作者: | 卢文壮 (meewzlu@nuaa.edu.cn) |
| 备注: | -- |
卢文壮, 杨斌, 冯伟, 杨旭, 蔡文俊. 应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(3): 540. LU Wen-zhuang, YANG Bin, FENG Wei, YANG Xu, CAI Wen-jun. Lapping of sapphire wafers by CVD diamond coated tools[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(3): 540.
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