光学学报, 2015, 35 (6): 0612004, 网络出版: 2015-05-20
Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析
Phase Retrieval Errors Analysis of Ronchi Phase-Shifting Shearing Interferometer
测量 干涉测量 Ronchi相移剪切干涉仪 波像差检测 相位提取误差 光刻投影物镜 measurement interferometry measurement Ronchi phase-shifting shearing interferometer wave-front aberration measurement phase retrieval errors lithography projection lens
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