作者单位
摘要
西安工业大学光电工程学院,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西 西安 710021
提出了一种基于光强迭代的单幅干涉图相位提取方法,实现了对单幅干涉条纹图的高精度相位提取。首先通过对原始干涉图进行预处理得到初始相位;将初始相位引入到干涉条纹图的强度表达式中,利用最小二乘法初步得到背景光和调制光;再将初步估计的背景光和调制光代入最初干涉图的强度表达式中以求解待测相位,比较得到的待测相位和初始相位,若不满足迭代精度要求,则重复上述相位求解过程并实现迭代,若求解的相位与初始相位的均方根差值满足收敛条件,则停止迭代。进行仿真和实验研究,得到的Φ100 mm口径平面元件的测量提取结果与实际相位一致。结果表明,该方法在具有较高检测精度的同时能够有效地保证算法的稳定性。
测量 干涉测量 单幅干涉图 迭代方法 最小二乘法 
光学学报
2024, 44(7): 0712002
作者单位
摘要
1 中国空间技术研究院 西安分院, 陕西 西安 710100
2 西安电子科技大学 前沿交叉研究院, 陕西 西安 710071
3 西安电子科技大学 空间科学与技术学院, 陕西 西安 710071
光频扫描非线性会影响光频扫描干涉(FSI)信号的相位提取精度,进而降低扫频干涉测距精度。针对这一问题,本文提出了一种基于互补集合经验模态分解结合希尔伯特变换(CEEMD-HT)算法的干涉信号相位提取方法。在CEEMD-HT算法进行理论推导和仿真分析的基础上,通过仿真验证了该算法对非平稳扫频干涉信号相位求解的有效性。进一步采用FSI实验系统中的真实输出光频率作为仿真条件进行了仿真实验,仿真结果表明CEEMD-HT算法对干涉信号相位的求解精度以及FSI测距精度都有显著的改善。最后,通过FSI测距系统的测距实验对所提出的干涉信号相位提取方法进行验证。结果表明:在2 m自由空间测量范围内,基于CEEMD-HT算法的重复测距精度为2.79 μm,相较于EMD-HT和直接测量法分别提高了5.19倍和8.28倍。
干涉测量 距离测量 光频扫描 扫频非线性 相位提取 interferometry measurement ranging measurement frequency scanning nonlinearity in frequency scanning phase extracting 
中国光学
2023, 16(3): 682
作者单位
摘要
1 山东大学 信息科学与工程学院,山东青岛266237
2 山东大学 激光与红外系统集成技术教育部重点实验室,山东青岛6637
3 中国电子科技集团公司第四十一研究所,山东青岛266555
光学干涉测量技术得益于高灵敏性和高重复性常用于位移等几何量的高精度测量。为了实现纳米级位移精确测量,以涡旋光与平面波干涉模型为基础,建立并验证了花瓣状干涉图旋转角度与位移的线性关系,提出一种微位移测量方法。位移测量模型使用涡旋光束干涉光路,经仿真验证了原理的可行性,并搭建位移实验系统进行测量实验。实验结果表明,当位移量为200.0 nm时,测量结果为196.3 nm,误差为3.7 nm,误差百分比为1.9%,可实现纳米量级的微位移测量。与传统的球面波干涉、共轭涡旋光干涉等位移测量方案相比,该微位移测量方法在测量可靠性和测量精度方面均具有明显的优势。
干涉测量 涡旋光 微位移 平面波 interferometry measurement vortex beams micro-displacement plane wave 
光学 精密工程
2022, 30(17): 2058
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川绵阳62000
2 清华大学 精密仪器系,北京100084
相位解包裹是光学干涉测量的关键环节,要求计算速度快、精度高、适应性强。根据包裹相位不同级次间存在明显边界的特点,本文提出数学形态学区域分割的快速相位解包裹算法。首先,采用数学形态学提取边界并分割相位区域。然后,计算区域之间的相位差异以确定各区域的相位级次和抬升值,判断边界点归属以确定边界各点抬升值。最后,根据抬升值对各区域相位进行整体抬升,最终获得空间上连续分布的相位。仿真和实验表明:基于数学形态学的解包裹算法对于1 000×1 000 pixels像素的相位处理时间在1 s以内,仅为经典的最小二乘算法用时的1/4,且相位自身边界、无效区域、噪声等因素对解包裹效果并无影响。该算法具有速度快、适用性强、精度较高等优点,在动态光干涉、光全息、光栅条纹投影轮廓测量等对运算速度要求较高的测量场景中有广泛的应用前景。
干涉测量 相位解包裹 数学形态学 区域分割 interferometry measurement phase unwrapping mathematical morphology region segmentation 
光学 精密工程
2021, 29(11): 2724
崔俊宁 1,2李伟 1,2,*边星元 1,2朱刚 3[ ... ]邹丽敏 1,2
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080
2 超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室(哈尔滨工业大学),黑龙江 哈尔滨 150080
3 北京航天计量测试技术研究所,北京 100076
针对零差正交干涉测量应用于超低频超大振幅标准振动台性能测试时非正交相移误差补偿困难、所需采样率极高的问题,提出了一种欠采样零差正交激光干涉测振方法。在设计消偏振分光测量光路的基础上,提出波片偏航调整方法,进行非正交相移误差的硬件实时补偿;提出基于运动状态预估的卡尔曼正交信号解调算法,对深度欠采样的干涉条纹进行相位信号解调,以大幅降低所需的采样率及产生的数据量。实验和仿真结果表明,文中方法可大幅降低零差正交干涉的非正交相移误差及其对波片角度偏差的灵敏度,且在测量超低频振动时,卡尔曼正交信号解调算法所需的采样率和每通道数据采集点数降低至奈奎斯特采样定理的0.056%。文中提出的欠采样零差正交激光干涉测振方法较好地满足超低频超大振幅标准振动测试的需求。
零差正交干涉测振方法 非正交相移误差 欠采样 卡尔曼正交信号解调 振动校准 homodyne quadrature laser interferometry measurement method quadrature phase error undersampling Kalman quadrature signal demodulation vibration calibration 
红外与激光工程
2021, 50(6): 20200329
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033
2 中国科学院大学, 北京100049
本文提出了一种全玻璃材料的光纤耦合器以实现高精度, 高稳定的干涉测量。首先, 介绍了干涉测量系统的工作原理以及光纤耦合器的系统设计, 然后通过理论分析选取了非球面透镜, 并根据具体的透镜参数进行了数值分析以及软件分析。接着进行了光束参数匹配度以及光束矢量匹配度的容差分析以及结构的热分析。最后结合理论分析以及精密的装调手段完成了光纤耦合器的制作。实验结果表明: 光斑尺寸相对于仿真结果的误差约为34%, 两光斑尺寸差异为09%, 偏心距离低于40 μm, 夹角约为60 μrad, 基本满足干涉测量系统的使用要求。
空间引力波探测 干涉测量 光纤耦合器 光斑 space gravitational wave detection interferometry measurement fiber-optic coupler spot 
中国光学
2019, 12(3): 432
吴飞斌 1,2,*唐锋 1王向朝 1,2李杰 1,2李永 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
在分析Ronchi 相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和仿真计算。仿真结果说明,八步和十步相移算法可以有效地消除多级衍射光寄生干涉对相位提取精度的影响,且十步相移算法比八步相移算法具有更高的相位提取精度;为了提高测量精度,要求相移误差优于2%;探测器位数大于10位;光栅周期误差小于1%;光源空间相干性低于0.1。通过采用不同的相移算法、剪切率和光源空间相干性的三组对比实验,对理论分析的正确性进行了验证。
测量 干涉测量 Ronchi相移剪切干涉仪 波像差检测 相位提取误差 光刻投影物镜 
光学学报
2015, 35(6): 0612004
作者单位
摘要
南开大学物理科学学院, 天津 300071
对于复杂的非定常流动,流场的测量往往要求无干扰、非接触,并且能够瞬时记录流场的信息。采用光干涉方法对放气系统流场的气压变化进行了测量。在加压法测量空气折射率的迈克尔逊双光束干涉实验装置中,引入特制激光功率计和孔状光阑,记录在自由放气过程中等倾条纹中心强度变化与时间的关系曲线,通过折射率与压强和质量流之间的对应关系,进行流场流速的无干扰、非接触的瞬时测量。实验证明这种测量方法响应度好,准确度高。
流场测量 激光 光学干涉测量 激光功率计 flow measurement laser optical interferometry measurement laser power meter 
光学与光电技术
2010, 8(1): 94
作者单位
摘要
西安工业学院,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西,西安,710032
介绍利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用FFT分析干涉条纹方法,分析并解决测量端面长度标准中条纹图的处理技术.应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度,而且大大地提高了测量精度.文中给出了最典型的端面长度标准量块的干涉条纹小数部分的实测结果.
量块 激光干涉测量法 干涉条纹处理 gauge blocks laser interferometry measurement interference fringes processing 
应用光学
2002, 23(5): 11

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!