光子学报, 2019, 48 (1): 0131002, 网络出版: 2019-01-27
基于离子束溅射大口径光学元件平坦化层均匀性研究
Study on Planarization Layer Uniformity of Large-aperture Optical Elements Based on Ion Beam Sputtering
薄膜 离子束溅射沉积 膜厚均匀性 大口径光学元件 驻留时间 Thin films Ion beam sputtering deposition Thickness uniformity Large-aperture optical elements Dwell time
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