光电工程, 2016, 43 (8): 1, 网络出版: 2016-09-12
接触触发式三维微纳米探头
A Touch Trigger 3D Probe for Micro/Nano Measurement
基本信息
DOI: | 10.3969/j.issn.1003-501x.2016.08.001 |
中图分类号: | TH822 |
栏目: | 微纳光学 |
项目基金: | 国家自然科学基金项目资助 (51275148,51475133);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目资助( KJ2015A410) |
收稿日期: | 2015-11-02 |
修改稿日期: | 2016-03-18 |
网络出版日期: | 2016-09-12 |
通讯作者: | 李瑞君 (rj-li@hfut.edu.cn) |
备注: | -- |
李瑞君, 李心愿, 向萌, 程真英, 范光照. 接触触发式三维微纳米探头[J]. 光电工程, 2016, 43(8): 1. LI Ruijun, LI Xinyuan, XIANG Meng, CHENG Zhenying, FAN Guangzhao. A Touch Trigger 3D Probe for Micro/Nano Measurement[J]. Opto-Electronic Engineering, 2016, 43(8): 1.