接触触发式三维微纳米探头

李瑞君; 李心愿; 向萌; 程真英; 范光照

doi:doi:10.3969/j.issn.1003-501x.2016.08.001

光电工程, 2016, 43 (8): 1, 网络出版: 2016-09-12

接触触发式三维微纳米探头

A Touch Trigger 3D Probe for Micro/Nano Measurement

李瑞君 ^*李心愿向萌程真英范光照

作者单位

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，合肥 230009

补充材料

李瑞君, 李心愿, 向萌, 程真英, 范光照. 接触触发式三维微纳米探头[J]. 光电工程, 2016, 43(8): 1. LI Ruijun, LI Xinyuan, XIANG Meng, CHENG Zhenying, FAN Guangzhao. A Touch Trigger 3D Probe for Micro/Nano Measurement[J]. Opto-Electronic Engineering, 2016, 43(8): 1.