Structural Un-uniformity and Electrical Anisotropy of μc-Si:H Films | 半导体光子学与技术 -- 中国光学期刊网

半导体光子学与技术, 2010, 16 (4): 137, 网络出版: 2011-07-27

Structural Un-uniformity and Electrical Anisotropy of μc-Si:H Films

Structural Un-uniformity and Electrical Anisotropy of μc-Si:H Films

HAN Chunlong ^1,*LI Juan ²

作者单位

¹ Zhong Huan System Engineering Co., Ltd, Tianjin 300060， CHN

² Institute of Photo-electronics, Nankai University, Tianjin 300071, CHN

μc-Si∶H thin film micro-structure anisotropy electrical property

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