液晶与显示, 2019, 34 (7): 646, 网络出版: 2019-08-07   

a-Si剩余膜厚对TFT特性的影响

Effect of thickness of a-Si remain on TFT characteristics
作者单位
重庆京东方光电科技有限公司, 重庆400700
引用该论文

田茂坤, 黄中浩, 谌伟, 王恺, 王思江, 王瑞, 董晓楠, 赵永亮, 闵泰烨, 袁剑峰, 孙耒来. a-Si剩余膜厚对TFT特性的影响[J]. 液晶与显示, 2019, 34(7): 646.

TIAN Mao-kun, HUANG Zhong-hao, CHEN Wei, WANG Kai, WANG Si-jiang, WANG Rui, DONG Xiao-nan, ZHAO Yong-liang, MIN Tai-ye, YUAN Jian-feng, SUN Lei-lai. Effect of thickness of a-Si remain on TFT characteristics[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2019, 34(7): 646.

参考文献

[1] IBARAKI N, FUKUDA K, TAKATA H. The effect of interface states on amorphous-silicon transistors [J]. IEEE Transactions on Electron Devices, 1989, 36(12): 2971-2972.

[2] 宋跃, 邹雪城.a-Si TFT亚阈特征参数与有源层的厚度效应[J].固体电子学研究与进展, 2004, 24(1): 20-25.

    SONG Y, ZOU X C. The subthreshold characterization parameter and active layer thickness effect over a-Si TFT [J]. Research & Progress of SSE, 2004, 24(1): 20-25. (in Chinese)

[3] 李田生, 谢振宇, 李婧, 等.有源层刻蚀工艺优化对TFT-LCD品质的影响[J].液晶与显示, 2013, 28(5): 720-725.

    LIT S, XIE Z Y, LI J, et al. Effect of active layer etch conditions improvement on TFT-LCD quality [J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2013, 28(5): 720-725. (in Chinese)

[4] 张少强, 徐重阳, 邹雪城, 等.薄有源层非晶硅薄膜晶体管特性的研究[J].电子学报, 1997, 25(2): 53-56.

    ZHANG S Q, XU C Y, ZOU X C, et al. The study of the characteristics of a-Si∶H TFT with thin active layer structure [J]. Acta Electronica Sinica, 1997, 25(2): 53-56. (in Chinese)

[5] 闫方亮, 沈世妃, 侯智, 等.a-Si厚度对TFT开关特性的影响[J].现代显示, 2011, 22(7): 23-28.

    YAN F L, SHEN S F, HOU Z, et al. Effect of a-silicon thickness on TFT characteristic [J]. Advanced Display, 2011, 22(7): 23-28. (in Chinese)

[6] 马群刚.TFT-LCD原理与设计[M].北京: 电子工业出版社, 2011.

    MA Q G. Principle and Design of TFT-LCD [M]. Beijing: Publishing House of Electronics Industry, 2011. (in Chinese)

田茂坤, 黄中浩, 谌伟, 王恺, 王思江, 王瑞, 董晓楠, 赵永亮, 闵泰烨, 袁剑峰, 孙耒来. a-Si剩余膜厚对TFT特性的影响[J]. 液晶与显示, 2019, 34(7): 646. TIAN Mao-kun, HUANG Zhong-hao, CHEN Wei, WANG Kai, WANG Si-jiang, WANG Rui, DONG Xiao-nan, ZHAO Yong-liang, MIN Tai-ye, YUAN Jian-feng, SUN Lei-lai. Effect of thickness of a-Si remain on TFT characteristics[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2019, 34(7): 646.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!