蓝宝石/SiO<sub>2</sub>/AlN/GaN多层结构表面热应力仿真分析

陈靖; 程宏昌; 吴玲玲; 冯刘; 苗壮

红外技术, 2017, 39 (5): 463, 网络出版: 2017-06-06

蓝宝石/SiO₂/AlN/GaN多层结构表面热应力仿真分析

Thermal Stress Analysis of Surface of Sapphire/SiO2/AlN/GaN Epilayers

陈靖 ¹程宏昌 ²吴玲玲 ¹冯刘 ²苗壮 ²

作者单位

¹ 西安工业大学光电工程学院, 陕西西安 710021

² 微光夜视技术重点实验室, 陕西西安 710065

补充材料

陈靖, 程宏昌, 吴玲玲, 冯刘, 苗壮. 蓝宝石/SiO₂/AlN/GaN多层结构表面热应力仿真分析[J]. 红外技术, 2017, 39(5): 463. CHEN Jing, CEHNG Hongchang, WU Lingling, FENG Liu, MIAO Zhuang. Thermal Stress Analysis of Surface of Sapphire/SiO2/AlN/GaN Epilayers[J]. Infrared Technology, 2017, 39(5): 463.