强激光与粒子束, 2015, 27 (2): 024147, 网络出版: 2015-02-15   

微米光栅加速度计的加工与性能研究

Fabrication and characterization of micro-grating accelerometer
冯丽爽 1,2,*姚保寅 1,2刘惟芳 1,2王潇 1,2
作者单位
1 北京航空航天大学 精密光机电一体化技术教育部重点实验室, 北京 100191
2 北京航空航天大学 新型惯性仪表与导航系统技术国防重点学科实验室, 北京 100191
基本信息
DOI: 10.11884/hplpb201527.024147
中图分类号: O439
栏目:
项目基金: supported by National Natural Science Foundation of China (60908016)
收稿日期: 2014-09-08
修改稿日期: 2014-09-25
网络出版日期: 2015-02-15
通讯作者: 冯丽爽 (fenglishuang@buaa.edu.cn)
备注: --

冯丽爽, 姚保寅, 刘惟芳, 王潇. 微米光栅加速度计的加工与性能研究[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27(2): 024147. Feng Lishuang, Yao Baoyin, Liu Weifang, Wang Xiao. Fabrication and characterization of micro-grating accelerometer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27(2): 024147.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!