强激光与粒子束, 2015, 27 (2): 024147, 网络出版: 2015-02-15
微米光栅加速度计的加工与性能研究
Fabrication and characterization of micro-grating accelerometer
加速度传感器 微米光栅 光学干涉 静电驱动 acceleration sensor micro-grating optical interferometry electrostatic actuation
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