中国激光, 2017, 44 (1): 0102012, 网络出版: 2017-01-10
不同晶面单晶硅在飞秒激光作用下的行为特性 
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Behavior Characteristics of Different Crystal Surfaces of Monocrystal Silicon Under Femtosecond Laser Irradiation
基本信息
| DOI: | 10.3788/CJL201744.0102012 |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | “超快激光加工与微纳制造”专题 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(51675013)、北京市自然科学基金(3152004)、北京市科技新星计划(Z141104001814109) |
| 收稿日期: | 2016-09-27 |
| 修改稿日期: | 2016-10-24 |
| 网络出版日期: | 2017-01-10 |
| 通讯作者: | 张欣 (zhangxin2014@emails.bjut.edu.cn) |
| 备注: | -- |
张欣, 黄婷, 肖荣诗. 不同晶面单晶硅在飞秒激光作用下的行为特性[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0102012. Zhang Xin, Huang Ting, Xiao Rongshi. Behavior Characteristics of Different Crystal Surfaces of Monocrystal Silicon Under Femtosecond Laser Irradiation[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0102012.
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