光子学报, 2009, 38 (11): 2733, 网络出版: 2010-05-10   

垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究

Experimental Study on Wet Oxidation Process of VCSEL
作者单位
1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 长春 130022
2 中国人民解放军装甲兵技术学院, 长春 130117
引用该论文

侯立峰, 冯源, 钟景昌, 杨永庄, 赵英杰, 郝永芹. 垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究[J]. 光子学报, 2009, 38(11): 2733.

侯立峰, 冯源, 钟景昌, 杨永庄, 赵英杰, 郝永芹. Experimental Study on Wet Oxidation Process of VCSEL[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2009, 38(11): 2733.

参考文献

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