垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究

侯立峰; 冯源; 钟景昌; 杨永庄; 赵英杰; 郝永芹

光子学报, 2009, 38 (11): 2733, 网络出版: 2010-05-10

垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究

Experimental Study on Wet Oxidation Process of VCSEL

侯立峰 ^1,2冯源 ¹钟景昌 ¹杨永庄 ²赵英杰 ¹郝永芹 ¹

作者单位

¹ 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 长春 130022

² 中国人民解放军装甲兵技术学院, 长春 130117

补充材料

侯立峰, 冯源, 钟景昌, 杨永庄, 赵英杰, 郝永芹. 垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究[J]. 光子学报, 2009, 38(11): 2733. 侯立峰, 冯源, 钟景昌, 杨永庄, 赵英杰, 郝永芹. Experimental Study on Wet Oxidation Process of VCSEL[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2009, 38(11): 2733.