光子学报, 2014, 43 (11): 1112002, 网络出版: 2014-12-08
单幅圆条纹相位展开光刻对准研究
Alignment in Lithography with Single Circular Fringe Pattern Phase Unwrapping
基本信息
| DOI: | 10.3788/gzxb20144311.1112002 |
| 中图分类号: | O438.2 |
| 栏目: | 仪器,测量,度量学 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(No.60976077)和西南科技大学博士基金(No.12zx7128)资助 |
| 收稿日期: | 2014-03-25 |
| 修改稿日期: | 2014-07-01 |
| 网络出版日期: | 2014-12-08 |
| 通讯作者: | 徐锋 (casxufeng@gmail.com) |
| 备注: | -- |
徐锋, 胡松. 单幅圆条纹相位展开光刻对准研究[J]. 光子学报, 2014, 43(11): 1112002. XU Feng, HU Song. Alignment in Lithography with Single Circular Fringe Pattern Phase Unwrapping[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2014, 43(11): 1112002.
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