半导体光电, 2017, 38 (3): 361, 网络出版: 2017-07-10
拉通型硅基APD保护环工艺研究
Study on Guard-ring Process of Silicon Reach-through APD
基本信息
| DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2017.03.012 |
| 中图分类号: | TN929.11 |
| 栏目: | 材料、结构及工艺 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2016-06-30 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2017-07-10 |
| 通讯作者: | 李睿智 (royal1024@126.com) |
| 备注: | -- |
李睿智, 袁安波, 曾武贤. 拉通型硅基APD保护环工艺研究[J]. 半导体光电, 2017, 38(3): 361. LI Ruizhi, YUAN Anbo, ZENG Wuxian. Study on Guard-ring Process of Silicon Reach-through APD[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2017, 38(3): 361.
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