半导体光电, 2017, 38 (3): 361, 网络出版: 2017-07-10
拉通型硅基APD保护环工艺研究
Study on Guard-ring Process of Silicon Reach-through APD
拉通型Si-APD 保护环 离子注入技术 扩散技术 成品率 reach-through Si-APD guard-ring ion implantation diffusion technique yield
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