研究了离子注入后推结与扩散两种掺杂方式制作保护环对拉通型硅基雪崩光电二极管(Si-APD)器件成品率的影响, 对比在不同工艺条件下器件反向击穿电压、暗电流的变化情况。研究结果表明, 采用离子注入后推结的方式, 在注入后3 h@1 100 ℃条件下的成品率为94%; 采用扩散掺杂方式, 器件成品率不超过65%。两种方式对器件反向击穿电压影响较小且暗电流抑制效果相当。离子注入后推结制备保护环的方式更适合Si-APD制程。
拉通型Si-APD 保护环 离子注入技术 扩散技术 成品率 reach-through Si-APD guard-ring ion implantation diffusion technique yield
1 中国科学院环境光学与技术重点实验室, 安徽光学精密机械研究所, 安徽 合肥 230031
2 中国科学技术大学, 安徽 合肥 230026
3 安徽省环境光学监测技术重点实验室, 安徽 合肥 230031
4 河北农业大学资源与环境科学学院, 河北 保定 071000
为实现奶牛场氨气减排, 改善生态环境, 需要在线监测氨挥发浓度并准确揭示氨排放特征。 采用开放式可调谐半导体激光吸收光谱 (TDLAS) 技术设计了开放式氨气在线监测系统, 结合反演式气体扩散技术开展相关研究, 于2013年秋季和冬季在保定市某奶牛厂进行了氨排放浓度在线监测和排放特征分析工作。 监测结果表明, 秋季氨气浓度峰值为6.11×10-6%, 冬季氨气浓度峰值为6.56×10-6%, 氨浓度具有日变化趋势, 基本呈白天浓度低, 夜晚浓度高的特点。 由反演气体扩散模型得到秋冬季氨排放特征, 氨排放峰值均出现在中午, 秋季氨排放速率为1.48～130.6 kg/head/hr, 冬季氨排放速率为0.004 5～43.32 kg/head/hr, 秋季的排放速率高于冬季, 说明奶牛场尺度下的氨排放存在一定的季节性差异。 该方法可以有效获得大范围、 高灵敏、 免采样、 快速气体排放特征结果, 为奶牛厂的氨排放监测和科学养殖提供技术支持。
激光吸收光谱 反演式气体扩散技术 氨排放 奶牛场 Laser absorption spectroscopy Inverse dispersion technique Ammonia emission Dairy feedlot
