紫外激光精细加工应用研究

骆公序; 陈俊; 王国庆; 潘涌; 姜兆华

doi:doi:10.3788/al20113103.0228

应用激光, 2011, 31 (3): 228, 网络出版: 2011-10-13

紫外激光精细加工应用研究

Application of UV Laser Micro-Processing

骆公序 ^1,2陈俊 ^1,2王国庆 ^1,2潘涌 ^1,2姜兆华 ^1,2

作者单位

¹ 上海市激光技术研究所, 上海 200233

² 上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233

图 & 表

骆公序, 陈俊, 王国庆, 潘涌, 姜兆华. 紫外激光精细加工应用研究[J]. 应用激光, 2011, 31(3): 228. Luo Gongxu, Chen Jun, Wang Guoqing, Pan Yong, Jiang Zhaohua. Application of UV Laser Micro-Processing[J]. APPLIED LASER, 2011, 31(3): 228.